鑄鐵平板平面度概述

鑄鐵平板平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。鑄鐵平板平面度誤差是將被測(cè)實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測(cè)量鑄鐵平板實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差，再換算以線值表示的鑄鐵平板平面度誤差值。
鑄鐵平板平面度測(cè)量方法：

1、平晶干涉法測(cè)量鑄鐵平板平面度：

平晶干涉法用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)鑄鐵平板表面的平面度誤差值。

2、光波干涉法測(cè)量鑄鐵平板平面度：

光波干涉法常利用平晶進(jìn)行，可以把干涉圖案作為被檢驗(yàn)鑄鐵平板表面的等高線，因此可以畫出該表面的形狀。

3、打表測(cè)量法測(cè)量鑄鐵平板平面度：

打表測(cè)量法是將被測(cè)零件和測(cè)微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)鑄鐵平板上， 以標(biāo)準(zhǔn)鑄鐵平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測(cè)量。

4、液平面法測(cè)量鑄鐵平板平面度：

液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由“連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。

5、三坐標(biāo)測(cè)量法測(cè)量鑄鐵平板平面度：

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在測(cè)量平面度時(shí)可以通過測(cè)量軟件自動(dòng)進(jìn)行平面度誤差計(jì)算與分析，完全不需人工計(jì)算，大大提高測(cè)量效率和準(zhǔn)確率。測(cè)量前也可在測(cè)量軟件中設(shè)定公差值，當(dāng)測(cè)量結(jié)果不在平面度公差帶時(shí)，超差數(shù)據(jù)可以用不同顏色顯示。

鑄鐵平板平面度測(cè)量工具：

偏擺儀、百分表、數(shù)據(jù)采集儀、影像測(cè)量?jī)x、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。